二手 KLA / TENCOR 2132 #293749965 待售
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KLA/TENCOR 2132是專門為掩模和晶圓制造行業設計的先進半導體檢測平臺。它提供了增強的分析,以便更好地控制制造過程,並加快產品開發和產量改進。設備由多軸對準系統、高分辨率測量頭、投影光學、圖像采集和處理單元以及激光位移傳感器組成。多軸對齊機可以精確定位晶片,從而使捕獲的圖像包含檢查所需的所有相關數據點。高分辨率測量頭包含先進的光學元件，從檢查中獲取極其詳細的圖像。投影光學允許增加視場和優化光分布，從而顯著提高信噪比。激光位移傳感器用於測量晶圓相對於圖像傳感器的高度、傾斜度和仰角。它還為不同的晶圓材料、厚度和形狀提供快速聚焦。KLA 2132的圖像采集和處理工具復雜而強大。它可以自動確定所需的AOI圖像大小、圖像質量和分辨率,從而最大程度地減少用戶交互並保證可靠的結果。強大的圖像采集和處理資產包含用於檢測高精度缺陷的專用濾波器,以及諸如子像素零件選擇和自動聚焦等其他功能,這些功能極大地促進了缺陷的有效檢測和分類。TENCOR 2132能夠高精度地檢測、表征和分類各種缺陷類型。其高速、高分辨率的成像功能有助於檢測各種意外缺陷。其先進的顯微鏡設計和較大的景深允許進行更嚴格的檢查，這有助於解決更具挑戰性的問題。總體而言,2132強大的成像模型和強大的功能構成了可靠、快速的掩模和晶片檢查的基礎。它具有廣泛的功能集和智能圖像處理功能,能夠快速準確地識別缺陷。這些功能與高級運動控制和超精確對準相結合,可實現最高級別的缺陷檢測,並為高質量的生產提供穩定性和可靠性。
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