二手 KLA / TENCOR 2132 #293753279 待售
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ID: 293753279
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 1995
Wafer inspection system, 6"-8"
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Auto wafer loader
(25) Wafer cassettes
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132是一種用於半導體和光學元件高精度分析的掩模和晶圓檢測設備。該系統能夠對表面缺陷、電路、集成電路和其他光學元件（包括薄膜厚度和均勻性）進行詳細分析。本機采用自動激光束成像裝置，分辨率低至1納米，可提供快速、準確、無缺陷的結果。KLA 2132是一種自動化機器，可以很容易地與目前的自動化晶圓檢測系統集成。它具有完全封閉、無塵的環境和高級自動化功能。自動檢測工具可以快速準確地分析曲面、電路和組件。此外,該資產還具有板載圖像處理軟件,可以與標準圖像進行更詳細的比較。晶圓檢測模型采用高分辨率成像相機，從不同角度獲取高度詳細的圖像，可以準確比較表面缺陷和均勻性。TENCOR 2132使用兩種不同類型的激光技術來檢測各種表面：暗場和明場技術。暗場技術在暗面上創建大缺陷的明亮圖像。明場技術在明亮的表面上創建暗缺陷的深色圖像。該設備還具有檢測極小缺陷的能力，如看不見的顆粒、針孔和晶界空隙，允許檢測人眼看不到的顆粒。這是通過自動激光束成像系統實現的，該系統將圖像的分辨率提高到1納米（1納米），提供了優異的效果。2132可以與眾多制造工藝結合使用。它是由SEMI（半導體設備和材料國際）作為其S2-2030標準的一部分進行認證的，確保了與其較大的加工系統的兼容性。而且，該單元還能夠進行高通量的數據采集，允許在短時間內拍攝大量圖像。KLA/TENCOR 2132是一款先進的自動蒙版和晶圓檢測機，提供快速、準確且無缺陷的結果。由於其高分辨率成像相機、自動檢測工具和自動激光束成像資產，以及與SEMI S2-2030標準的兼容性，廣泛應用於半導體和光學行業。憑借這些特點，KLA 2132能夠提供晶圓生產和掩模檢測的準確性和可靠性。
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