二手 KLA / TENCOR 2132 #293794172 待售
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KLA/TENCOR 2132是一種自動化的掩模和晶圓檢測設備,旨在實現快速準確的缺陷檢測。該系統集成了一個4K成像單元,能夠捕獲晶圓表面的高分辨率圖像,以便快速查明和識別缺陷。這些缺陷的範圍從極小的表面病變,到更大的空隙或顆粒缺陷。KLA 2132的設計與許多工藝室兼容,從光刻到沈積和蝕刻,使其能夠進行調整,以提供準確的結果,無論使用何種工藝。TENCOR 2132利用亮場光學模式,結合結構化光模式,使其能夠獲得樣品表面的高分辨率圖像,動態範圍遠遠超過其他常用工具。為了確保準確的缺陷檢測,2132使用先進的信號和圖像處理算法來識別和比較表面特性。每個圖像都映射到標準輸出,從而可以詳細量化樣本的表面形態。除了其成像功能外,KLA/TENCOR 2132還支持自動修復缺陷,允許用戶隨時間跟蹤和監視缺陷級別。機器記錄缺陷的確切位置,允許用戶仔細檢查可疑區域以識別缺陷的原因。此外,該工具存儲結果供以後的比較和分析,使用戶能夠密切監測晶圓的生產進度。KLA 2132是從半導體到MEMS制造等廣泛應用的理想資產。雖然傳統的檢驗系統缺乏解決缺陷的能力,但TENCOR 2132能夠識別甚至最小的缺陷,然後采取一切必要步驟,確保更大的產量,提高生產率和盈利能力。最後,科軍對卓越的承諾確保2132始終保持最高質量水平,使其長期保持可靠和高效。
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