二手 KLA / TENCOR 2132 #293798142 待售

KLA / TENCOR 2132
ID: 293798142
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2132 Mask&Wafer Inspection Equipment是一種用於半導體制造的全自動檢測解決方案。它使用高分辨率的數字成像系統來檢測光掩模和晶片中的缺陷,定義為地形或反射率的變化。空氣軸承級通過先進的亮場和暗場光學系統傳輸樣品,提供清晰的表面拓撲對比度和特征邊緣對比度,便於先進的缺陷分類。KLA 2132有能力容納高達12英寸的光掩模,以及200毫米至450毫米的半導體晶圓。可使用各種階段配置,檢查單元可配置為低批量生產或大批量制造。結合復雜的會計功能,從掃描角度到曝光次數和層數,TENCOR 2132提供了詳細的數據分析、缺陷趨勢分析和其他報告能力。易於使用的屏幕用戶界面,允許選擇各種分析模式。檢測套件還包括晶圓對準和圖像分析軟件,該套件完全兼容業界最新兼容的檢測要求和計算機接口。2132 Mask&Wafer Inspection Machine是尺寸和厚度各異的基材的理想工具,在半導體制造設備的可追蹤性和可靠性環境中利用先進的視覺檢查和幻燈片分析功能。其亮場和暗場系統能夠區分地形特征和光學對比度缺陷。其集成的軟件套件可確保高效的數據分析、缺陷跟蹤和報告。而它的空氣承載級則允許更高的樣品精度和操作。這些特性使KLA/TENCOR 2132 Mask&Wafer Inspection Asset成為快速高效制造半導體的尖端工具。
還沒有評論