二手 KLA / TENCOR 2132 #293815221 待售

KLA/TENCOR 2132掩模和晶圓檢測設備是一種用於微電子器件制造的高精度、高速的自動光學檢測工具。它是一個集成的機器，采用了最先進的光學檢測系統，結合先進的光學和圖像分析軟件，快速有效地檢查正面和背面的掩模和晶圓表面。該設備設計用於檢測臨界和非臨界缺陷,尺寸從0.07 μ m到45 μ m不等。KLA 2132利用一臺高分辨率的500萬像素線性陣列CCD攝像機,以每秒20,000張圖像的速度捕捉圖像,提供高度詳細的成像和快速的采集速度。它的三個FlashMax高動態範圍光學調節系統允許蝕刻或非蝕刻晶片的背面成像，包括設備未受保護的背面，其他檢查系統往往做不到。該工具能夠通過直接查看標準口罩上的高對比度特征或通過使用低劑量成像檢查光掩模特征。此外,TENCOR 2132適用於檢查正面和背面晶圓表面的蝕刻和打印工藝層。復雜的圖像分析算法用於快速準確地識別缺陷、評估過程性能以及跟蹤晶圓性能隨時間變化。2132集成的硬件和軟件使其成為優越的掩模和晶圓檢測工具。它不僅能檢測到廣泛的缺陷，而且還令人難以置信的可靠和快速。KLA/TENCOR 2132提供準確的成像、提高工作效率和縮短檢查時間,為檢測和評估掩模和晶片缺陷提供了理想的解決方案。