二手 KLA / TENCOR 2132 #293815450 待售

KLA/TENCOR 2132是一種可靠的掩模和晶圓檢測設備，用於發現半導體生產中的缺陷並提高產量。它結合先進的光學、圖像處理和先進的激光測量技術，以納米尺度檢查整個掩模和晶圓表面。KLA 2132基於KLA SmartScribe非線性激光幹涉儀。該系統可用於收集和準確報告晶圓或掩模上有缺陷和無缺陷特征的納米尺度測量。可以一次掃描整個曲面,從而創建整個曲面的清晰圖像。TENCOR 2132采用了納米級激光照明和動態圖像處理相結合的專利技術，提供了改進的信噪比，可以精確測量缺陷和其他特征。除了先進的光學之外，2132還具有分段對比度模式用於缺陷檢測。此功能使用像素檢測來隔離對比度最高的區域,從而可以更準確地識別缺陷。這與更標準的單圖像模式識別系統形成鮮明對比，該系統提供的缺陷檢測準確度較低。該單元還配備了先進的高速算法，用於縫合和自動對焦。這提供了更快的自動對焦，加快了整個檢查過程，並且在掃描更大的蒙版時無需重新聚焦光學器件。KLA/TENCOR 2132提供了多種功能,使其能夠根據生產環境進行定制。用戶可調節的光學器件可以針對不同的掩模和基板形狀進行優化，而機器的軟件與一系列生產第三方監控系統兼容。總體而言,KLA 2132是一種易於使用、可靠的掩模和晶片檢驗工具,可最大限度地提高產量並降低生產成本。其先進的光學、圖像處理和動態激光測量組合最大限度地減少了重新聚焦的需要，為納米測量提供了最高精度。其分段對比度模式用於缺陷檢測和高速自動對焦算法，進一步提高了其實用性，成為滿足半導體生產需求的寶貴資產。