二手 KLA / TENCOR 2132 #293818647 待售

KLA / TENCOR 2132
ID: 293818647
優質的: 1995
Wafer inspection system 1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132是為半導體制造行業設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統提供全面的缺陷檢查功能,允許用戶識別和分類關鍵缺陷類型。該單元結合了多種光學、電氣和成像技術,使其能夠以高達每小時1,000個晶圓的速度提供高分辨率成像和自動缺陷分類。KLA 2132由計量柱和檢驗柱兩個主要組成部分組成。計量列包括先進的光感測技術,使其能夠檢測和測量低至2nm的特征。這樣可以確保機器能夠精確地測量和監控到納米級的特定工藝特性。檢查欄的設計目的是捕捉島嶼、線條和氛圍的高分辨率圖像。然後通過串聯算法進行處理,自動識別因果缺陷,並將其分類為粒子、特征或線缺陷等各種類別。該工具還包含缺陷識別和分類功能,旨在減少檢查時間。通過先進的模式匹配和特征識別算法,TENCOR 2132可以識別因果缺陷,以及從各類缺陷中識別特征異常。此外,在資產運行期間,還可以遠程監測工藝化學和溫度控制設置。2132提供了多種功能,用戶可以根據自己的特定需求自定義檢查。該模型包括一個直觀的圖形用戶界面,允許用戶快速選擇設置和參數,根據用戶的特定應用量身定制檢查標準。此外,設備還具有存儲頻繁設置並輕松召回的能力,使用戶可以快速復制結果。該系統還包括一個集成缺陷跟蹤單元,允許用戶在單個「跟蹤」報告中查看和分析缺陷數據。高級數據管理功能增強了機器的整體性能。這包括全面的數據存儲和檢索功能,以及無縫集成來自多個來源和晶圓代的缺陷數據的能力。KLA/TENCOR 2132工具生成的所有數據都存儲在一個專門的數據庫中,以便進一步分析和歸檔。綜上所述,KLA 2132是為半導體制造行業設計的高度先進、能幹的掩模和晶圓檢測資產。該模型能夠以每小時1,000晶圓的速度提供快速、高分辨率的成像和自動缺陷分類。它提供了直觀的圖形用戶界面、高級數據管理功能和可定制的檢查標準,允許用戶根據自己的特定需求定制檢查。
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