二手 KLA / TENCOR 2132 #293824937 待售

KLA/TENCOR 2132是一種自動化的掩模和晶圓檢測設備，旨在為先進的半導體制造提供減產缺陷的早期檢測。該系統采用獨特的激光感應光學顯微鏡（LIM）從上到下逐層檢測模具或標線的正面。LIM提供了可用的最高分辨率,允許檢測該模具或標線的最終掩模層或晶片層上的亞微米缺陷或形狀。同時檢查光刻相關缺陷、孔隙缺陷、線路橋接等關鍵缺陷。該裝置配有一個集成攝像頭，可根據檢測到的層數和缺陷類型自動確定要檢查的層。它可以檢測CD和Pitch中小至0.1um的缺陷，甚至可以檢測CD發際線缺陷。該機器設計用於一次最多檢查四個晶片，確保快速周轉時間和相對較低的成本每晶片。除了LIM之外，KLA 2132還結合了KLA CMM掃描儀等其他技術，用於精確測量晶片和標線的尺寸。這有助於確保在掩模或晶圓制造過程中沒有出錯。該工具還配備了Auto-Recipe Generation工具,根據應用程序和技術,通過為每個晶圓創建自定義配方,幫助自動執行檢查過程。資產還包括統計過程控制和高級缺陷分類等高級軟件工具。這使用戶能夠快速檢查缺陷級別及其與過程變量的相關性,從而有效地改進整個過程控制和產量。此外,該模型還包括實時報告和分析功能,允許在檢查過程中快速調整或優化過程變量。最後，TENCOR 2132設備經過YieldRCA-3操作認證，可以讓用戶快速準確地診斷檢查中發現的任何缺陷。這使得該系統成為任何半導體制造過程的強大工具,尤其是用於確定產量限制缺陷的根本原因。