二手 KLA / TENCOR 2132 #9101228 待售
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ID: 9101228
優質的: 1995
Wafer inspection system
Array Mode:
0.62μm: 5 sec/cm2
0.39μm: 15 sec/cm2
0.25μm: 30 sec/cm2
Random Mode:
0.50μm: 1.5 sec/cm2
0.30μm 5 sec/cm2
0.20μm 15 sec/cm2
Minimum inspection feature size @ 0.25μm with DIE to DIE mode ±0.5℃
Defect Capture Rate: >90% on KLA Standard Wafer with >0.1% false rate in Random Mode ±0.2℃
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132是一種掩模和晶圓檢測設備,設計用於提供半導體生產的綜合解決方案。該系統提供準確可靠的缺陷檢測和分析。該單元具有多種高端自動化和分析功能。利用亮場、暗場、RED增強三級成像精確掃描檢測缺陷,並采用先進算法和統計方法對缺陷趨勢進行精確分析。該機可以分析模具對模具、模對掩模、芯片對芯片的缺陷等級,並可以測量復雜的CD和叠加特性。除了缺陷檢查和分析外,該工具還可以配置為執行高級計量。它為評估和監測提供了一系列參數,例如臨界尺寸、線寬和薄膜厚度。這提供了一種更全面的方法來確保給定的生產運行符合必要的規範。該資產是高度可靠和穩定,耐用性已經設計成它的設計。該模型具有用於光束掃描的晶圓對準框架。它還包含多用途、即時晶片幾何識別能力、先進的對焦設備以及機動化、高精度的舞臺。該系統提供了一個易於使用的用戶界面,低學習曲線和無與倫比的重復性和準確性。它還可以方便地針對特定的應用程序要求,提供專門的缺陷檢測配方,以實現極高的自定義級別。該裝置的掩模和晶圓檢驗能力滿足了半導體制造行業對質量保證的最嚴格要求。它旨在顯著提高吞吐量、產量和可靠性。
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