二手 KLA / TENCOR 2132 #9139541 待售

KLA/TENCOR 2132是一種為提高性能和精度而設計的掩模和晶圓檢測設備。它完全自動化，包括高分辨率CCD攝像機、自動對準和對焦系統、通用晶片裝載機以及各種成像、測量和對準軟件工具等幾個組件。高分辨率CCD攝像機具有高達1420萬像素的分辨率,可以對晶片、晶片的特性和缺陷進行詳細的成像。這與自動對準系統相結合,該系統能夠在相機的圖像平面上安全地對準掩模或晶片,然後將其定位以獲得最佳視圖。使用通用晶片裝載機將晶片快速準確地加載到設備上，以便能夠正確地看到和分析它們。KLA 2132包括幾個軟件工具，使機器能夠對各種特性和缺陷進行精確精確的成像和測量。它具有信號增強和缺陷表征的圖像處理能力，以確保準確的測量。此外,它還具有使其能夠對齊同一個掩模或晶圓的兩個圖像以進行比較和空間分析的功能。其中一個工具SEMimage工具使用戶能夠以更高的放大倍率查看SEM圖像,以幫助可視化小缺陷和納米級特征。此外,該工具還包含大量的測量和對齊功能列表。其中包括晶圓上所有特征的精確定位、線寬和橫截面的測量、覆蓋公差測量以及目標對目標的對準。還有支持自動和手動數據分析的宏。TENCOR 2132是任何半導體研究或生產設施的重要工具。它的高分辨率攝像機、成像和測量軟件以及全面的對準和測量功能可以提高生產率和質量控制。它結合了自動化功能和手動控制選項,使其成為需要高精度和準確性的任務的理想選擇。