二手 KLA / TENCOR 2132 #9139550 待售

KLA/TENCOR 2132是一種用於制造半導體器件的掩模和晶圓檢測設備。它是一種高精度、高通量的系統,專為準確性、可靠性和可重復性而設計。該單元用於檢查制造過程不同階段的半導體器件，如預金屬層、金屬層和閘門。機器可以在制造過程的早期階段檢測到錯誤和缺陷，使工藝工程師能夠快速向晶圓制造團隊提供反饋。該工具采用可變光束成像資產，集成了Optical Cross CCD電子相機，在所有軸上提供了優於0.5微米的分辨率。這樣可以精確檢測細小的缺陷,例如線寬和間距的缺陷。此外，KLA 2132型號通過一次檢查就可以跨多層進行檢查，從而可以更快、更詳細地進行檢查。它分析3維圖像，同時評估多個地形層次。這樣可以確保通過一次掃描在多個級別檢測缺陷,從而能夠更準確地檢測缺陷。該設備還能夠自動進行缺陷預覽和分類，從而節省了手動識別和審查缺陷的時間和精力。TENCOR 2132系統具有高度的靈活性和可定制性,允許進行定制以滿足客戶的要求。該單元還擴大了特征識別領域，使識別缺陷組以及改進過程控制的跟蹤和分析功能變得更加容易。總體而言，2132是一種先進的用於半導體器件檢測的掩模和晶圓檢測機。它提供高分辨率、快速吞吐量和廣泛的功能,能夠準確檢測缺陷並改進過程控制。該工具的靈活性和定制使用戶能夠根據自己的特定需求定制資產。