二手 KLA / TENCOR 2132 #9159041 待售

KLA/TENCOR 2132是專門為掩模和晶圓檢測而設計的光學檢測設備。它結合了先進的光基成像技術和軟件，對掩模和晶圓表面進行了全面和高精度的分析。該系統由多個單獨的組件組成。高分辨率攝像機模塊用於收集掩模和晶片的圖像數據。然後將攝像機模塊連接到精確幀掃描單元,該單元以預定的模式移動攝像機和采樣,以便從不同的角度或方向獲取多個圖像。采用高精度激光點定位機采集和分析x軸和y軸的樣品特征。然後,激光點特征會自動註冊,並與成像工具對齊,以獲得更高的精度。一旦獲得數據，信息就被轉移到分析計算機上。這臺分析計算機處理數據並執行各種不同的檢查，包括粒子檢測、紋理測量、電壓對比度、光譜選擇、掩模檢查和晶圓檢查。它可以檢測極小的特征、缺陷和缺陷,並識別特定於掩碼和晶片的任何類型的問題。KLA 2132提供業界領先的速度和分辨率,並提供一流的可重復性。它能夠測量5微米的最小間隙，可以檢測到小至1微米的粒子。它還可以精確測量3微米的針針間隙。再者，資產還配備了一系列高級功能，如自動對準、自動區域檢查、自動模具和批次識別、自動缺陷識別以及深入的數據分析能力。所有這些都確保對每一個數據進行徹底的檢查和分析,並確保能夠快速識別、分類和報告缺陷。TENCOR 2132是真正先進的型號，可以為掩模和晶圓檢測提供可靠的檢測能力。它是廣泛行業的首選設備，其優越的速度和準確性保證了它所檢查的任何掩模或晶片都將達到盡可能高的標準。簡而言之，2132是口罩和晶圓檢驗的理想解決方案。