二手 KLA / TENCOR 2132 #9167971 待售
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KLA/TENCOR 2132 Mask&Wafer Inspection equipment是一種自動化檢查系統,用於識別和評估嵌入在微芯片晶片和Mask上的復雜幾何形狀中的各種特征。這種廣泛采用的單元被用於半導體行業,以幫助確保最高水平的質量控制、準確性和生產率。該機建立在先進的Tencorcore激光掃描技術(TLST)平臺上,該平臺具有opitcal project (OP)、backside illuminated (BI)、counting-split (FS)和through-silicon-via (TSV)四種光學配置的獨特組合。所有這四種配置都提供了卓越的圖像分辨率和圖像深度,允許在同一成像工具中從不同角度分析目標特征。這對於故障分析、工藝步驟驗證、2D/3D光刻分析、產量監測等應用尤為重要。KLA 2132資產構建在TLST平臺上,是一種精密工程工具,用於高級故障分析和過程監控。它提供了具有實時吞吐量和靈活的模型配置的高級圖像捕獲和分析功能。每種光學配置都包括將晶片表面特征切成多個高度數據集,這有助於測量目標層的精度以及評估周圍特征。這樣,用戶可以快速準確地識別制造過程中發生的任何錯誤。TENCOR 2132還具備先進的半導體和先進的電子檢測能力。其直觀的用戶界面可輕松訪問多種功能,包括直觀而強大的檢查追蹤能力、可靠的數據分析、實時反饋和全面的缺陷審查工具。這使高級流程控制和頁面產生保證。綜上所述,2132是一種先進的掩模晶圓檢測設備,旨在幫助半導體行業達到更高的精度和質量控制水平。其先進的圖像捕獲和分析選項,結合實時吞吐量和靈活的系統配置,使其成為高級故障分析和過程監控的完美工具。
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