二手 KLA / TENCOR 2132 #9277331 待售

KLA/TENCOR 2132掩模和晶圓檢測設備是一種全自動成像和檢測設備，用於檢測厚度高達200納米（nm）的基板上的高精度和高分辨率缺陷。該系統結合了自動光學成像、照明和對多達60個測試地點的並行檢查。KLA 2132使用高分辨率像素傳感器技術來捕獲掩碼/晶片表面的圖像，並將它們與預先編程的一組缺陷參數進行比較。TENCOR 2132也有先進的AASI-TACT（Advanced Automated Automated Structure Inspection Unit-Ternary Aerochip Trias）技術，以高靈敏度檢查微觀特徵。AASIS-TACT經過專門設計，以高精度檢查高針數設備。它使用三維波形分析自動隔離、測量和表征基板上的缺陷。這為2132提供了一種自動掃描和測量標準，如缺陷大小、形狀、表面積和邊坡等。該機具有快速吞吐量，每小時最多可提供8個晶圓，並配有內置的BGA視點檢測工具。這樣可以在盡可能短的時間內進行故障分析。KLA/TENCOR 2132還具有自動匹配功能,可快速測量具有類似圖像的掩碼。該資產高度自動化和用戶友好,需要最少的操作員輸入。它以全面的技術支持為後盾,具有滿足業界不斷變化的需求的可靠性和靈活性。KLA 2132掩模和晶片檢查模型采用經濟高效且用戶友好的軟件包,提供高性能、易變性和準確性,是自動成像和缺陷分析的理想解決方案。