二手 KLA / TENCOR 2132 #9373021 待售

KLA/TENCOR 2132 Performance Analyzer是一種晶圓和掩模檢測設備，用於檢測集成電路（IC）晶圓和掩模中的顆粒、缺陷和過程變化。該系統是確保微電子器件高產量、高質量保證的在線檢測、分選和分析要求的理想選擇。KLA 2132單元利用光學顯微鏡、散射法、光譜成像、3D成像、電子束顯微鏡等先進技術。這些工具提供了粒子和缺陷的精確測量，以及掩模和晶片上特征的精確放置、覆蓋和輪廓測量。此外,該機器允許根據形狀和大小自動進行缺陷分類。TENCOR 2132檢測工具安裝在一個堅固可靠的外殼中，具有隔振和溫度控制功能。檢查資產具有可重復的測量精度（0.20 µm 3 σ）、高吞吐量（每小時高達40,000晶圓）和高達每秒500幀的數據速率。該模型易於在操作員一級使用，具有自動化功能校準、自動晶圓處理和直觀用戶界面等多種用戶友好選項。這有助於消除勞動密集型工作，並確保高效和可靠的結果。此外，2132設備還具有多種內置的安全特性，如集成的粒子排斥系統，可以防止晶圓的不良接受。該單位還有一個能源廢棄物處理機器，提供一個安全和有效的方式來丟棄汙染。KLA/TENCOR 2132 Perfomrance Analyzer是一款先進可靠的工具,可提供卓越的粒子和缺陷檢測以及晶圓/掩模測量精度。該資產可幫助確保IC晶圓和掩碼的質量控制、過程優化和產量優化。