二手 KLA / TENCOR 2132 #9377282 待售

KLA / TENCOR 2132
ID: 9377282
Defect measurement system, 8"'
KLA/TENCOR 2132是一種多傳感器掩模和晶片缺陷檢測設備,設計用於分析晶片模式、缺陷和系統性能。該裝置能夠檢測半導體晶片和掩模表面的微小缺陷。它利用一系列光學技術,包括紅外、可見和紫外線檢測技術,來檢測各種粒徑、形狀和成分。它可以對二進制和灰度特征進行映射,以完成缺陷檢測。KLA 2132的自動調諧機允許檢查不同的晶片,而無需對每個晶片進行手動調整。它具有先進的多圖像功能,每個字段最多可進行32次檢查。此外,它還允許在整個晶圓曲面上實時處理重載數據集。它還具有HiDef表面采集技術,這是一種專有的晶圓成像技術,旨在消除常見的成像工件。TENCOR 2132適用於多種模式和缺陷檢測。它提供了一個高度可重復和可靠的檢查,能夠識別和區分低對比度和高對比度缺陷,在尺寸小於1納米。它還能夠區分圖像移位到小於0.002微米。它具有受氣候控制的環境,可確保產品性能和符合客戶要求。氣候控制工具設計為在檢測室提供均勻的溫度,以消除手動調溫的需要,並優化性能。它的自平平晶片卡盤允許快速、精確的晶片放置。2132具有綜合軟件集成能力。它具有功能齊全、符合人體工程學的圖形用戶界面,具有高度可配置的儀表板,允許多個用戶同時檢查和分析晶圓模式和缺陷。它還支持數據采集和管理任務的自動化,並提供完整的聯網解決方案。該資產是為滿足嚴格的生產和研究需求而設計的。它的模塊化設計允許模型隨著生產需求的增長而擴展。它以KLA綜合服務和支持網絡為後盾,提供現場服務、全天候技術支持和例行維護計劃。
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