二手 KLA / TENCOR 2132 #9383459 待售

KLA/TENCOR 2132是一種掩模和晶圓檢驗設備，幫助制造商確保其半導體器件的質量。它用於檢測和表征光掩模、工程圖紙以及其他新制造的金屬和介電層中的缺陷。KLA 2132系統由兩個主要組件組成-晶圓檢測組（WIS）和掩模檢測機（MIS）。WIS組件對未包裝的晶片進行光學檢查,並收集電氣測試和模具分析所需的過程和缺陷數據。它還驗證晶圓參數,包括均勻性、幾何位置以及整個晶圓臨界尺寸。MIS組件對設計用於檢測剝離或汙染等關鍵缺陷的光掩模空白進行模模檢查,並將其與預期的設計布局進行比較。TENCOR 2132工具采用了多種先進技術，包括高分辨率數字成像、離軸照明、自動相移和專用光學元件，以改進圖像采集。它的成像能力允許幾何測量和缺陷表征到納米尺度，這有助於在制造過程的早期發現問題。資產還包括一些內置的質量保證功能，如自動目標選擇和評估過程。這有助於減少檢查時間並確保在批量生產之前發現最關鍵的缺陷。該模型支持透明缺陷分類方法,旨在簡化與數據庫系統的集成。這使得它適合與其他計量解決方案集成,便於自動缺陷跟蹤和表征。此外,設備還提供快速的數據存儲,使制造商能夠跟蹤和比較隨時間變化。總體而言,2132是一個自動化的高精度晶片和掩模檢驗系統,可幫助制造商生產優質設備。它為用戶提供了一個可靠高效的設備集成、缺陷檢測和制造分析平臺。