二手 KLA / TENCOR 2132 #9389837 待售

KLA/TENCOR 2132是一種用於過程控制和產量管理的掩模和晶圓檢測設備。它是一個全自動、先進的成像系統，可以檢測和測量各種掩模、晶圓和光掩模尺寸的缺陷。該單元依靠高通量的光學設計、精確的掃描和自動自動對焦功能，以平均每秒1-2個樣本的通量獲得清晰和均勻的圖像。硬件包括多光譜LED照明和帶有全局快門CMOS傳感器的攝像頭。機器光學設備將高分辨率成像與大面積傳感相結合，能夠快速采樣和檢測潛在缺陷。運動控制和精確傳感器確保在整個檢查周期中優化樣品移動,從而實現一致和準確的圖像捕獲。該工具還采用基於TrueSpectrum特征的算法進行精確的圖像分析。特別設計的算法允許精確的缺陷檢測和最小的誤報，使速度和準確性。這些算法可以測量特征尺寸和幾何特征,包括啟用實時缺陷大小和分類。KLA 2132設計具有用戶友好的界面,允許輕松設置和轉換,以及方便的數據收集、分析和報告。此資產還提供直觀的報告功能,允許用戶為不同的報告生成多種格式。後期處理圖像分析和缺陷大小調整完全自動化，可以即時調整。TENCOR 2132不僅僅是一個掩模和晶圓檢測模型。它還可用於一系列生產和工程應用，包括：液晶屏和OEL項目的質量控制、半導體制造工藝、光刻曝光的質量保證、光掩模和標線圖樣的審查以及CCD中的缺陷檢測。通過可選的「系統集成」界面,設備可以與用戶現有的生產或工程系統集成-提供更好的流程控制、改進的組件處理和優化的產量。