二手 KLA / TENCOR 2135-IS #293620770 待售

KLA/TENCOR 2135-IS是一種具有先進成像、分析和報告功能的高性能、高產量、掩模和晶圓檢測設備。該系統提供可變大小的視場,並在亮場和暗場成像方面提供出色的圖像分辨率。KLA 2135-IS單元借助其照明機、增強的高動態範圍成像、激光模式識別以及獨特的多視圖成像技術，可以檢測到復雜掩模或晶片上的最小缺陷。此工具使用的高級成像技術允許進行高質量、以缺陷為中心的圖像分析。該資產擁有多個探測器，包括一個1.3百萬像素、8位CCD陣列探測器和一個50百萬像素、12位CCD陣列探測器。1.3百萬像素CCD陣列檢測器對適合檢查臨界幾何形狀的高分辨率成像具有較深的靈敏度，而50百萬像素CCD陣列則用於模式較復雜的較大晶片。由於它們的大探測器尺寸和成像能力，這些探測器提供了檢測和分析最小缺陷的能力，即使在大型晶片上也是如此。TENCOR 2135-IS的主要特點之一是多點UV和紅外激光模式識別。該特征提供晶圓上激光定義的叠加特征和工藝層的精確映射，使晶圓圖像與預定參考圖像的實時比較成為可能，從而能夠有效檢測缺陷。該模型還具有高速缺陷捕獲設備,能夠對掩碼或晶圓圖像進行快速、自動化、缺陷表征和分類。用戶可以輕松訪問、刪除、存儲和分類系統中的缺陷。除了缺陷檢測功能外，該單元還擁有一套功能強大的數據分析和報告工具，讓用戶生成具有缺陷大小、類型、位置和嚴重性等各種統計指標的詳細報告。總體而言,2135-IS臺機器提供了完整的掩模和晶圓檢測解決方案,旨在提供高性能、高產量的結果。該工具可幫助制造商和制造商確保高質量的產品一致性,並滿足批量制造的苛刻需求。