二手 KLA / TENCOR 2135 #192496 待售
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已售出
ID: 192496
晶圓大小: 6"
優質的: 2000
Patterned wafer defect inspection system, 6"
Handler: 6" open cassette (x2)
Cassette handling: vacuum handling open handler
Robot: KLA robot, single end-effector
Inspection station module: KLA2135-IS
User interface module: KLA2135-UI
Chuck type: low contact (dimpled)
Light spectrum: visible 2.9
Pixel size in um: 0.62, 0.39, 0.25
CE Marked
PC configurations:
CPU: PII 300 MHz
Memory: 512M
OS: Windows NT
3.5” floppy drive
Application software: version 5.3.084
GEM/SESC (HSMS)
Network comm.: BNC, Ethernet (Cat 5)
Fan (blower) Unit
Remote power disconnect panel
Facilities:
Line conditioner: 208 V, 50 A, 3 phase, 50/60 Hz
Inspection station: CDA 80 PSI measured at the main system regulator
Performance requirement:
DSW75 capture rate > 90%.
DSW75 repeatability > 95%
User Manual
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2135是一種提供高精度缺陷檢測的掩模和晶圓檢測設備，利用先進的算法技術檢測和測量任何基板上的顆粒級汙染。該系統提供卓越的圖像質量、快速的吞吐量和改進的過程優化。KLA 2135提供了出色的動態範圍圖像，並使用了多種高分辨率掃描技術，如激光掃描、電子束掃描和參數分析。TENCOR 2135單元提供了多種高性能功能,能夠準確、可靠地檢查電子元件。該機能夠檢測具有高質量圖像的亞納米缺陷。這使得它非常適合檢測和測量各種與過程相關的缺陷，如顆粒汙染、空隙、劃痕和其他光學汙染物。該工具還提供業界領先的掃描儀技術和先進的圖像分析算法,以實現高產率、準確的審查和相移分析。資產的高級缺陷分類功能使用戶能夠識別和分類表面級缺陷,而其多光譜成像技術可確保能夠以準確的結果檢查各種掩模類型。該模型還提供了自動化的流程優化功能,允許用戶根據從任何映像過程中獲得的結果快速分析和優化流程。2135設備還具有較高的吞吐量檢查能力,能夠快速高效地掃描,無需人工幹預。它還具有內置缺陷跟蹤和文檔記錄系統,允許用戶跟蹤和查看來自多個圖像的缺陷。為確保缺陷檢測和比較準確可靠，KLA/TENCOR 2135單元采用先進算法進行缺陷檢測和表征。這些算法旨在最大限度地提高缺陷識別和鑒定過程中的效率和準確性，確保卓越的圖像質量和改進的過程優化。總體而言,KLA 2135機器是制造環境中缺陷檢測和表征的先進且經濟高效的解決方案。它提供高精度的缺陷檢測,具有出色的圖像質量和快速的吞吐量,以及自動化的過程優化和高效的缺陷跟蹤。通過將質量和性能相結合，TENCOR 2135工具是任何尋求先進、高效、可靠的掩模和晶圓檢測資產的制造商的理想選擇。
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