二手 KLA / TENCOR 2135 #198385 待售

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ID: 198385
Wafer Inspection system, 1998 vintage.
KLA/TENCOR 2135是一種用於半導體制造的前沿經濟高效的掩模和晶圓檢測設備,旨在處理廣泛的生產檢測任務,提供無與倫比的速度、可重復性和準確性。KLA 2135將標準對準、敏感的光學檢查和數據分析功能結合到一個提供質量保證終極包的產品中。TENCOR 2135具有自動缺陷檢測、基板對齊、序列化ID讀取等功能。這些特性使掩模和晶片檢測器能夠高速精確地檢測基板。敏感的光學檢查功能使系統能夠檢測和分析晶片或掩模上最小的缺陷。2135具有自定義功能,允許操作員設置特定的產品參數。這些參數包括晶圓圖樣尺寸的測量、x-y位置誤配準、磁頭/間隙、圖樣失真等質量特性。這些自定義設置使KLA/TENCOR 2135能夠高效、準確地執行高質量的檢查。KLA 2135還能夠收集和存儲有關被檢查部件的數據。然後,這些數據可用於創建產品質量的準確記錄。有價值的信息可以用來幫助改善工藝條件和質量控制。TENCOR 2135具有多項節省成本的功能,使其成為市面上最具成本效益的掩模和晶圓檢測系統之一。例如,單位使用的動力刺激明顯少於其他系統。此外,該機通過使用現場更換光學元件和優化校準過程來降低刀具成本。2135具有高度模塊化和可配置的功能,可根據客戶的需要進行擴展。這使得它成為一個用途廣泛、可靠的平臺,可以從小型試點線路運行到大批量生產。總體而言,KLA/TENCOR 2135是一個先進的掩模和晶圓檢測平臺,它提供了極其精確、可靠和可重復的檢測,並具有最小的安裝成本和快速的周轉時間。它是需要高速可靠檢測的半導體制造廠的理想工具。
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