二手 KLA / TENCOR 2135 #293610038 待售

KLA/TENCOR 2135是一種用於生產先進半導體器件的掩模和晶圓檢測設備。它是一種專門設計用於在實際生產過程之前、之中和之後檢查基板的工具。系統使用電荷耦合器件（CCD）攝像機檢測掩模和/或晶片表面的任何異常或缺陷。它提供了一套全面的工具和算法來自動檢測、量化、測量和分類每一個缺陷。KLA 2135利用最先進的紫外線（UV）成像進行非接觸缺陷檢測。它配備了像素精確的圖案匹配，可用於靜態和動態任務。該機與其他軟件集成，能夠與自動探測和計量系統接口。它也可以用來校準和測量光刻過程中的設備。該單元由高速模式匹配引擎、多個CCD攝像機和靈活的軟件環境組成，用於缺陷參數優化。陣列匹配引擎可以檢測和分析所關註的3D區域內的任何大小的缺陷。CCD攝像機可以在一秒鐘內識別數百個缺陷，並為每個缺陷提供精確的3D映射。該軟件可用於自定義模式匹配引擎中使用的參數以及缺陷分類中使用的閾值。收集的數據可以由軟件存儲在數據庫中，從而能夠快速、方便地檢索信息。數據還可用於生成報告和準備分析，這些報告可以印刷或以電子方式發送給負責處理和優化過程的其他人員。該機器可以與現有的計量和測試系統集成，顯著提高流程時間，降低成本，精簡流程。總體而言，TENCOR 2135是一種可靠、高性能的掩模和晶圓檢測工具，旨在確保半導體器件的生產精度和質量控制。它是一種有助於確保納米級制造零件精度的資產。它是一種經濟高效的解決方案,用於檢查生產過程中和生產後的各種缺陷。