二手 KLA / TENCOR 2135 #9139553 待售

KLA/TENCOR 2135是一種自動化光學檢查設備，用於半導體器件的掩模和晶圓檢查。它設計用於檢查各種類型的掩模和晶片，從微處理器到芯片系統。其設計結合了使用先進的光學、軟件算法和材料物理，以產生更高的精度、速度和重復性。該單元的核心是一臺高分辨率相機，用於捕捉晶圓或掩模的圖像。然後對這些圖像進行處理和分析，以識別設備表面的結構缺陷，如裂縫和空隙。攝像機安裝在可移動平臺上,能夠將攝像機頭部精確定位在設備的特定區域上。這允許在整個設備周圍和整個設備之間拍攝多個圖像。機器使用的軟件算法能夠拍攝相機拍攝的圖像，並對其進行分析，以識別晶圓或掩模表面的特定缺陷。這一分析過程使得缺陷檢測具有很高的準確性。該工具進一步能夠確定任何已查明缺陷的精確位置，並提供對缺陷的詳細分析。除了其缺陷檢測功能外，KLA 2135還提供了一系列其他功能。它能夠提供設備內特征的詳細測量,如線寬和厚度。這些測量可用於確定所檢查的掩模或晶片的精度和精確度。資產還能夠詳細分析設備的材料特性，包括其光學特性和電氣特性。此信息可用於進一步確保設備的制造符合要求的規格。TENCOR 2135是一種高度精確和通用的模型，能夠對各種半導體器件進行精確檢查。它結合了先進的光學和復雜的軟件算法，在缺陷檢測和材料分析方面提供了很高的準確性和可重復性。