二手 KLA / TENCOR 2135 #9144798 待售

KLA/TENCOR 2135是為半導體工業設計的一種精密的掩模和晶圓檢測設備。該工具以最新技術為基礎，能夠精確測量和檢查晶片和掩模上的各種特性。該系統具有高分辨率CCD探測器,像素大小μ 14.5米,使設備能夠識別非常小的缺陷。為了減少操作員的工作量，機器配備了高速晶片裝載機，一次處理多達20個晶片。KLA 2135利用激光透射成像（LTI）技術允許使用同一晶圓的多個圖像，使其能夠精確計算任何給定特征的幾何測量。為了進一步提高測量精度，該工具采用了自動聚焦算法，補償晶圓的任何聚焦或傾斜問題。此外,集成邊緣檢測算法允許資產精確定位有缺陷的邊緣,從而增強模型識別和定位缺陷的能力。設備的分析和後處理功能同樣令人印象深刻。廣泛的分析功能（包括特征測量、邊緣分析和缺陷分析）,使操作員能夠快速準確地調查其圖像。此外,智能報告生成器簡化了數據存儲和系統分析。可以針對不同的客戶要求定制報告模板。總體而言,TENCOR 2135提供了可靠的掩碼和晶圓測量和檢查,而其它系統很少能達到這一水平。憑借其先進的技術和高速性能，這一工具使工程師和科學家能夠在晶圓和掩模檢查過程中達到最高精度。