二手 KLA / TENCOR 2135 #9189621 待售

KLA/TENCOR 2135是一種先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統提供具有卓越缺陷檢測精度和靈敏度的高速自動晶片檢測，為晶片提供可靠的抽查。該單元采用高分辨率CCD相機、光學系統等先進光學成像技術，實現了高度的精度和可靠性。它由三個主要組成部分：圖像采集、圖像處理和缺陷檢測子系統.圖像采集子系統以高分辨率捕獲晶片的圖像。此組件由多個攝像機組成,根據所需的檢查分辨率,可能包括CCD和CMOS攝像機等不同類型的攝像機。這臺機器還結合了基於激光的高度補償系統來調整晶圓表面的變化。圖像處理子系統執行許多復雜的操作，將原始圖像轉換為適合缺陷檢測的形式。這包括圖像分析、圖像清洗、圖像縫合、圖像對齊、圖像配準、圖像分割和圖像配準。圖像處理子系統還能夠識別不同類型的缺陷，如凹坑和空隙、裂縫和劃痕。缺陷檢測子系統負責自動檢測和定位晶片上的缺陷。這是通過光學和缺陷檢測算法（如像素級分析、顏色直方圖和線性掃描）的組合來實現的。該工具還能夠將檢測到的缺陷分類為各種缺陷類型。KLA 2135是一種先進的掩模和晶圓檢驗資產,能夠提供可靠的質量保證服務.模型中采用的高精度光學和成像技術使其能夠精確、靈敏地檢測、分類和定位甚至高速的最小缺陷。這使得它非常適合諸如缺陷評估、質量保證和半導體制造等應用。