二手 KLA / TENCOR 2135 #9195908 待售

KLA/TENCOR 2135是為現代半導體生產而設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統采用高分辨率成像技術，準確、快速地檢查半導體元件制造中使用的掩模和晶片。該單元能夠檢測表面缺陷（如劃痕和顆粒）和地下缺陷（如空隙和針孔）。KLA 2135由一個光學柱組成，包括光源、照明光學器件和透鏡，以及圖像分析機，其中包括掃描幾何、機械掃描階段和圖像處理軟件。光學柱包括一個亮場亮場照明器、偏振亮場照明器和斜面照明器，所有這些都是檢測不同深度的表面和地下缺陷所必需的。此外,該工具還具有較大的視野和較高的數值孔徑。TENCOR 2135的圖像分析資產是為高速、高精度地分析圖像而設計的。圖像處理軟件能夠實時檢測和分類缺陷,從而實現快速響應時間和高生產率。此外，該模型還采用晶圓檢測算法，旨在減少產生的誤報數量。2135被設計成集成到自動化生產線中，使其易於整合到現有設施中。此外,設備還能夠與其他系統連接,例如產量管理、過程控制以及跟蹤和跟蹤系統。KLA/TENCOR 2135還配備了人性化的圖形用戶界面，讓用戶可以快速、輕松地設置和使用系統。KLA 2135是現代半導體生產必不可少的工具，因為它為用戶提供高分辨率成像技術、圖像分析能力以及與其他系統的集成。利用TENCOR 2135,制造商能夠快速準確地檢測掩模和晶片中的表面和地下缺陷,從而實現更快、更高效的生產。