二手 KLA / TENCOR 2135 #9249042 待售
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ID: 9249042
晶圓大小: 8"
Wafer inspection system, parts machine, 8"
Missing TDI module and PLLAD module.
KLA/TENCOR 2135掩模和晶圓檢驗設備是一種先進的計量解決方案，致力於現代半導體制造的計量需求。它的專有技術使它能夠快速準確地測量用於生產半導體器件的光刻掩模或晶片中所包含的關鍵模式。KLA 2135能夠以高度的準確性和可重復性檢測設備尺度上極小的缺陷和特征變化。TENCOR 2135系統構建在模塊化平臺上,可根據需要為各種應用程序配置。這使用戶能夠根據需要輕松地將該工具用於不同的平版印刷應用。這些應用範圍從模模缺陷檢測到特征輪廓鑒定到時鐘抖動分析。為了便於高精度的測量和分析,該工具包含了專有的硬件和軟件。高清光學、共焦激光掃描、幹涉光學和高級探測器的獨特組合，以微米級分辨率測量和分析特征。此外,還對檢測單元的缺陷檢測算法進行了精確校準,以檢測特征尺寸和形狀中最小的變化。同樣重要的是2135機器能夠高效地快速處理和分析大量數據。由於其板載圖像存檔和檢索功能,該工具可以在一小時內處理數百GB的數據。此外,KLA/TENCOR 2135資產可以自動識別、分類和測量設備特性,幾乎無需人工幹預。這樣可以確保該工具能夠始終如一地提供高質量的結果,而無需繁瑣的手動檢查過程。總體而言，KLA 2135掩模和晶圓檢驗模型是一個可靠可靠的解決方案，可以滿足現代半導體制造的計量需求。它結合了先進的硬件、軟件和分析過程,使其能夠可靠地識別光刻面膜和晶片上的缺陷,從而提高質量控制和生產產量。該工具具有在檢查過程中減少人工的能力，是任何現代光刻應用的理想選擇。
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