二手 KLA / TENCOR 2135 #9252720 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9252720
晶圓大小: 8"
Wafer inspection system, 8"
DOS Operation system
Ranom and array mode
Wafer loader and stage, 6"
(2) Open cassettes
System backup drive
SAT Function is valid
Fully safety inter locks
Fully exchaust fan
Switch and button
Joystick
Console panel
Cover
Holder.
KLA/TENCOR 2135是來自KLA和TENCOR的掩模和晶圓檢驗設備。它是一個先進的系統,對掩模光掩模和半導體晶片進行高速、高分辨率和高精度的檢查。該單元采用雙電容電荷耦合器件(CCD)相機,用於成像掩模和晶片,提供高達2125 nm的高分辨率圖像,並具有400 ns的快速曝光時間。它還具有兩個發光二極管(LED)系統,在兩個不同的波長下工作,匹配產品的絕對音高,甚至對最困難的缺陷提供一致的檢測。KLA 2135設計方便前沿半導體器件零缺陷生產。它提供了一個強大的檢查過程,並通過深入分析來檢測和分類缺陷,以及映射多個掩模層中相似缺陷之間的連接。該機器還配備了一種特殊的高級缺陷分析(ADA)工具,使用暗場和亮場成像來快速準確地識別關鍵缺陷,包括打印通過缺陷。此外,TENCOR 2135還提供了創新的模式識別算法來檢測模式變化和線寬變化,有助於保持至關重要的設計完整性。為了最大限度地提高生產效率,2135提供了快速下載速度、實時圖像處理、自動模具檢查和產品缺陷的實時評估。通過具有觸摸屏支持的圖形用戶界面(GUI),該工具使用戶可以輕松設置進程,同時訪問數據和管理多個晶片的檢查。KLA/TENCOR 2135通過直觀友好的面向用戶的GUI和特殊的高級軟件功能得以實現。它易於使用的功能使任何技能級別的操作員都能從其高級性能能力中迅速受益。總之,KLA 2135是半導體行業的高性能掩模和晶圓檢測資產,提供高速高精度成像,具有強大的缺陷分析功能。其先進的功能和用戶友好的功能使其非常適合大批量生產需求。
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