二手 KLA / TENCOR 2135 #9254151 待售

KLA/TENCOR 2135是一種通用、先進的自動掩模晶片檢測設備,能夠檢測從保險杠到保險杠直徑最大8英寸的晶片,分辨率高達0.5微米（500 nm）。這是通過其先進的光束剖面儀和Φ5毫米的外部視場來實現的，它捕獲了模具表面關鍵結構的最精確和最全面的拓撲成像過程。該系統配備了圖像編碼，以提高計量和工作流程的準確性。除立體成像外，KLA 2135還利用了氣溶膠層成像技術，這是一種開創性的方法，可激活對小顆粒和缺陷（如灰塵和汙染）進行更高分辨率的獨特檢測。它還提供了一個內置的寬範圍照明均勻性類照明單元,具有多達6種不同的特性-從弱光到高光-實現最佳圖像質量,不受任何陰影或耀斑效果的影響。TENCOR 2135還通過創新的Total Feature Image Analysis （TFIA）技術減少了多種類型的系統錯誤,該技術允許多點特征表征過程,以識別各種圖案大小和形狀。此外,該機器還配有彩色材料圖,用於增強視覺監控,以及用於數據傳輸的輸入/輸出功能。它附帶了一個專有軟件包7PiiQ,其中包含從檢查到優化的一整套功能。可視化-它提供了一組獨特的高級分析,供操作員識別和排除任何問題。Predict-它用作自動電氣、應力和光學設計規則檢查器（DRC）,與模具的視覺特性相關聯,可立即檢測前緣的錯誤。該軟件還使用戶能夠跟蹤和分析設計規則違規,並定義可自定義的接受/拒絕設置。2135面罩和晶圓檢測工具是一種創新的先進解決方案，其速度、吞吐量以及精度和分辨率無與倫比，非常適合半導體行業中高批量生產。