二手 KLA / TENCOR 2135 #9373035 待售

KLA/TENCOR 2135掩模和晶片檢測設備是一個最先進的成像平臺,旨在最大限度地提高芯片產量,同時提高生產率。與市場上任何其他成像系統相比,它提供了最高的圖像質量分辨率和精度。KLA 2135配備了高分辨率數碼成像相機，能夠捕捉到高達10納米分辨率的蒙版和晶圓圖樣圖像。這樣就可以實時檢查智能手機或可穿戴設備上小到電路的模式，以及非常大的矽片。此設備真正具有「熄燈」功能,高度自動化,以實現最高的效率。TENCOR 2135配備了高亮度白光源，針對多種缺陷檢測進行了優化。這使得機器能夠檢測圖像偽影，如衍射缺陷，以及傳統的平面圖案缺陷。此外,該工具還具有用於非接觸表面檢查的高性能上熒光通道,能夠檢測隨機缺陷和局部缺陷。Epi-fluorescence能力通過檢測斑點、微小的異物和表面蝕刻區域有助於提高半導體器件產量的吞吐量-所有這些都可以降低器件性能和產量。2135設計具有靈活性和可擴展性,具有預先配置的檢查工具集、直觀的軟件平臺和多個檢測器接口選項。其計量學功能使其非常適合設備表征,因為它可以檢測晶圓上的關鍵尺寸,而無需任何物理標記,使其成為有價值的計量學工具。最後,KLA/TENCOR 2135可以定制配置,以滿足客戶的需求,其易用性使其成為全天候運行的理想選擇。KLA作為掩模和晶圓測試系統的行業領導者,是半導體成像和表征的可靠且經濟高效的資產。利用TENCOR創新成像技術，用戶可以實現更高的產量和設備性能，以及高品質的產品。該模型非常適合各種半導體器件應用，可用於高級封裝和MEMS等應用。