二手 KLA / TENCOR 2135 #9383823 待售

KLA/TENCOR 2135掩模和晶片檢測設備是一種通用的自動化系統，旨在檢測有圖案的掩模和半導體晶片。該單元包含明場和暗場斜光檢查方法，包括明場明暗差分檢查、暗場明暗差分和暗場臨界尺寸。該機器由兩個相互依賴的組件組成：差分模式觀測站和晶圓/掩模缺陷審查站。微分模式天文臺（DMO）結合了亮場/暗場成像工具和晶圓/掩模級，以支持多個線性和斜向激光照明角度。它配備了能夠檢測和量化有限缺陷的高分辨率相機和成像資產。晶片/掩模缺陷審查站具有電動xy級,能夠掃描晶片和掩模的缺陷。該站包含多個光源，以各種入射角照亮晶片/掩模，包括亮場和暗場照明。這樣就可以在小型和大型設備上執行高分辨率、大視野缺陷檢查,最小的特征尺寸可檢測到5nm。KLA 2135設計用於調查各種類型的晶片/掩模缺陷和故障，包括電氣短路、光刻開口、光刻缺陷、薄膜開裂和圖案錯位。它還能夠檢測248mm至500 mm晶片和4英寸至8英寸的口罩。TENCOR 2135帶有基於Web的分析和報告工具,使操作員能夠實時查看模型的檢查過程。這消除了手動日誌記錄的需要,並允許對生成的數據進行快速輕松的分析。2135掩模和晶片檢測設備是自動化缺陷檢測和故障分析的一個非常寶貴和通用的系統。它是現代生產的重要工具，有助於提高產量和產品質量。