二手 KLA / TENCOR 2135 #9389838 待售
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KLA/TENCOR 2135是針對工業應用進行優化的高度先進、耐用的掩模和晶圓檢測設備。該系統提供了全面的盒式檢查器解決方案,無需高級操作員,並通過高通量和缺陷檢測靈敏度級別確保準確性。該單元由一個帶有內部光源的頂部攝像機和一個圖像分析程序組成,可以快速準確地檢測到有效數據和有缺陷數據之間的差異。再者,頂部相機的大視場保證了大面積的晶片可以被掃描,使其適合各種掩模和晶片尺寸。KLA 2135設計為高速執行,具有廣泛的工藝步驟,如光掩模檢查、蝕刻驗證和模模檢查。此外,該機還可用於光掩模光刻、模叠光刻、現場檢測和先進的晶圓制造應用。TENCOR 2135還采用了專門設計的成像檢測器來檢測高分辨率特征。這樣可以確保捕獲和檢測最小的缺陷,從而實現更廣泛的流程完整性。此外,該探測器還能夠以最小的調整來檢測局部反射模式的變化.這使得檢查過程具有更高的靈活性。該工具還易於使用和維護,具有彩色用戶界面和圖形用戶界面(GUI)。這樣可以實現更高級別的自定義和用戶優化。此外,2135可以與機器人室和子系統等其他組件配合使用,進一步增強了其能力。歸根結底,KLA/TENCOR 2135是掩碼和晶片檢查解決方案的最佳選擇,因為它提供了高效、經濟高效且可靠的資產。它結合了廣泛的視野、快速的速度以及方便的維護和用戶界面等功能,使其成為任何工業或制造環境的理想選擇。
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