二手 KLA / TENCOR 2138 #191650 待售

KLA/TENCOR 2138是一種精密的掩模和晶片檢測設備，設計用於精確檢測掩模和晶片基板上的碎片、邊緣滾動和其他缺陷。該系統能夠執行各種自動檢查技術,並且可以配置為以非常具體的分辨率和靈敏度級別運行。KLA 2138是一種多功能設備,非常適合各種應用。用戶受益於其雙面掃描功能,該功能通過一次檢查即可訪問晶圓或掩模基板的兩側。該機器的設計效率最高，允許用戶在幾分鐘內完成檢查。TENCOR 2138工具中包含的兩個主要的檢查元件是它的高分辨率顯微鏡和它的激光罩，用來創建被檢查樣品的三維地圖。顯微鏡與引擎蓋配合工作，檢測面罩和晶片上的小缺陷，這些缺陷不會被人眼註意到。這是通過以亞微米分辨率掃描相關材料來實現的。用戶可以選擇根據分辨率和敏感度的確切規格定制檢查。使用2138顯微鏡進行的檢查非常準確,缺陷檢測率高達95%,錯誤警報率低於1%。資產甚至不僅僅是檢測碎片和其他缺陷的存在與否。它還可以在形狀、大小和方向方面對個別缺陷進行表征，為用戶提供對被檢查材料的徹底評估。總體而言，KLA/TENCOR 2138是一種高度通用和可靠的掩模和晶片檢驗模型，能夠識別和表征各種小缺陷。KLA 2138具有雙面掃描功能、可定制的檢查和高精度,是制造商確保其掩模和晶片基板符合規格的不可或缺的工具。