二手 KLA / TENCOR 2138 #293767168 待售
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KLA/TENCOR 2138是一種用於精確半導體檢測和模式識別的掩模和晶圓檢測設備。該系統能夠自動檢測、確定尺寸和分類從掩模到晶片的各種曲面上的缺陷。KLA 2138結合了高速掃描、光學導航和模式識別功能,可快速高效地識別各種表面的缺陷。其獨特的光學設計和高級軟件算法提供卓越的性能,使設備能夠準確識別各種缺陷,如橋接、斷裂、劃痕、顆粒汙染和線寬變化。TENCOR 2138還有一個高解析度的成像機,可以偵測小至50納米的特徵。這種基於圖像的檢查允許對掩模或晶片上的每個特征進行精確評估,並允許對檢測到的任何缺陷進行詳細評估。該工具還利用若幹先進的模塊化工具來提高其有效性。其中包括一個自動階段工具,以快速和準確地校準資產;一個高速掃描間距調節器,控制照明場的大小和形狀;以及用於精確分析和報告缺陷的圖像分析工具。2138還設計方便地融入到現有的生產和檢驗過程中。該型號兼容許多不同的行業標準通信協議,包括以太網和GPIB,並允許用戶將設備輕松連接到各種各樣的控制器、計算機和網絡。總體而言,KLA/TENCOR 2138是一種先進可靠的掩模晶圓檢測系統,旨在提高半導體缺陷檢測和分析的準確性和效率。它具有高速掃描、光學導航和模式識別功能,為檢查各種表面的各種缺陷提供了準確、高效的解決方案。
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