二手 KLA / TENCOR 2139 #135494 待售

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ID: 135494
Wafer inspection system Upgraded from KLA / TENCOR 2135 UI PPC power line conditioner Power requirements: 208V, 3ø, 30A, 50/60Hz Can be inspected with power on 1997 vintage.
KLA/TENCOR 2139是一種高精度、自動化的掩模和晶圓檢測設備。它以電子方式檢測和測量集成電路和光掩模生產過程中金屬掩模和半導體晶片表面可能存在的缺陷。憑借其先進的光學和激光掃描技術,KLA 2139系統可以在微觀水平上分析芯片、晶體管和其他電路組件的光學特性。TENCOR 2139單元具有精密的成像和分析能力,使其能夠快速掃描和評估掩模和晶片。機器甚至可以檢測到肉眼可能看不到的最小缺陷,並確保卓越的無缺陷屈服。它在其基於PC的用戶界面上具有特殊的軟件,可以定制以滿足任何應用程序的特定需求。2139工具利用非接觸、無損激光和光學測量技術,可以識別有害的粒子和缺陷,如圖樣缺陷和凹坑。該資產還可以測量蒙版和晶片上的應力,從而能夠嚴格控制關鍵工藝參數。KLA/TENCOR 2139型號還具有閉環缺陷分類設備,可提供逐個缺陷的精度,從而提高產量並改進設備制造。該系統可提高吞吐量並加快處理時間,從而減少周轉時間和產品成本。高速數據采集和全自動缺陷分類,以及矢量和模式識別,使設備成為在線實時缺陷檢查的理想選擇。憑借快速測量晶圓和掩模尺寸的能力,KLA 2139機器可以高效檢查分辨率高達2560 x 2560像素的圖像,並具有像素級精度。TENCOR 2139工具提供了不同領域的多種采樣、測試和評估功能,以提高準確性並檢測到其他不可察覺的缺陷,從而提供準確和可重復的測量效果。它具有全彩色映射和審閱顯示模式,允許用戶可視化每個缺陷的確切位置和嚴重程度。2139資產是缺陷檢測、晶圓和掩模制造工藝表征及設計變更的理想解決方案,可提供高速度和高分辨率成像,以確保最佳缺陷檢測結果。
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