二手 KLA / TENCOR 2139 #293606933 待售

KLA/TENCOR 2139是KLA開發的用於半導體制造的掩模和晶圓檢測設備。該系統基於激光技術，用於自動檢查晶片、掩模和液晶顯示器上的一系列缺陷。它通過雙自動晶片級對樣品進行高精度對準，並通過高分辨率激光線進行廣域測量。KLA 2139單元旨在最大限度地提高檢測過程的生產率，實時準確測量缺陷。它可以快速檢測蒙版和晶片之間的模式位移，以及LCD中細微的顏色差異。該機器還提供強大的檢查後分析能力，並配備強大的軟件，提供可靠的分析和統計評估，以確保可信和可重復的結果。該工具的主要部件包括高分辨率激光線和雙自動晶圓級。高分辨率激光線提供高達150 mm的長掃描長度和高動態聚焦,具有較大的景深,可用於全面檢測缺陷。雙自動晶片級可確保樣品的精確對齊,並在晶片上提供一致可重復的結果。TENCOR 2139資產還具有廣泛的先進技術，如激光聚焦優化、邊緣檢測、缺陷分類、粒子分析、缺陷尺寸計量等。該模型還提供了先進的發光二極管技術，用於檢測缺陷位置和提供更高的數據準確性。該設備可用於廣泛的應用和檢查，包括液晶顯示器、電子傳感器、HDI、後置和薄膜應力、電路模式分析和層計數以及過程監控。該系統還采用透明樣品進行配置和校準，以促進有效的缺陷測量和可追蹤性。2139單元高度可靠,具有廣泛的優勢,包括優化檢查過程、提高測量精度和降低每晶圓成本。該機性能可靠，適用於任何需要快速、可靠的掩模和晶片檢測的應用。