二手 KLA / TENCOR 2139 #9190703 待售

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ID: 9190703
Brightfield inspection system Loading configuration: Integrated SMIF Operating system: Windows NT Chuck Cables Fan modules GEM/ SECS Interface 3.5" Floppy drive 10Base-T and BNC (10Base-2) Pixel sizes (Random / Array): 0.160, 0.250, 0.391, 0.625, and 1.250 Power: 208-480V 2001 vintage.
KLA/TENCOR 2139是為先進的半導體生產線設計的一種精密的自動掩模和晶圓檢測設備。它配備了一個亮場成像系統,電動XYZ級,以及一個超高光學分辨率的視覺單元,以較傳統方法成本的一小部分進行快速檢查。KLA 2139利用亮場照明和電動XYZ級實現了掩模和晶片的高分辨率成像。通過使用多個光學成像視圖,機器能夠在檢查晶圓或掩模的表面特征時提供靈活性,如縫合、接觸線和其他微觀特征。TENCOR 2139的視覺工具包括高性能處理器,其分辨率提高到200 nm,使操作員能夠輕松地檢測屏蔽和晶片中最小的缺陷。CCD照相機和微觀激光器的強度和分辨率都可以變化,以確保準確的分析,而電動XYZ階段允許快速重新定位和檢查不同區域。此外,2139配備了先進的缺陷檢測和分類軟件,能夠準確識別各種缺陷,包括坑、珠、黑點等。這些特性使資產能夠快速高效地識別和分類汙染晶片。此外,KLA/TENCOR 2139還提供了高級晶圓級缺陷審查和編輯工具,以便快速輕松地處理錯誤和缺陷。可以組織和過濾檢查結果,以便進一步分析。該模型還包括一個常用的圖像處理算法庫,包括自動縫合、對比度增強和模式識別,以進一步提高其準確性。KLA 2139是晶片顯示和產量優化的理想設備,能夠快速準確地進行檢測。該系統具有擴展的功能,是各種類型的掩模和晶圓設計精確可靠檢測的理想解決方案。
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