二手 KLA / TENCOR 2139 #9227709 待售

KLA/TENCOR 2139是一款下一代的掩模及晶圓檢測設備，旨在滿足當今最先進的半導體工藝幾何形狀的高速、高精度、高容量要求。KLA 2139具有四維成像工作站,能夠以極高的精確度和分辨率生成清晰的3D圖像,以及用於精確檢測潛在缺陷的高級模式識別軟件。它能夠在一個圖像中同時對多達四個單獨的檢查區進行檢查，並配備了增強的用戶界面，旨在使數據分析和口譯高效準確。利用基於Python的優化圖像處理流水線,系統利用精確的次像素數據捕獲來捕獲單個缺陷和碎片的微觀細節。TENCOR 2139的成像元件包括明場和暗場探測器陣列，以及為快速數據采集和成像而設計的優化光學單元。它還包括一個熱電冷卻的EMCCD，以確保熱噪聲最小化和亮度最大化的高質量成像。除了提供高品質的3D成像外，該機還被設計為快速、可靠、易於使用。它具有高精度的階段，使工具能夠快速準確地進行多次檢查。它還配備了多向孔徑，能夠對超小顆粒進行檢測，並且可以與自動缺陷檢驗站集成，進一步增強其處理能力。除了成像能力外，2139還設計用於處理廣泛的檢查任務。它專有的全方位匹配算法使它能夠快速準確地比較特征的模式，並將它們集中在檢查面罩內。資產還通過智能算法支持缺陷分類，能夠以不同的置信度實時檢測缺陷。最後,它能夠執行層厚度測量以及分析特征和缺陷信息,以生成一組通用的報告和分析。KLA/TENCOR 2139通過其高分辨率成像、先進的模式識別算法和快速的處理速度相結合，成為半導體行業的掩模晶圓檢測標準。憑借其業界領先的性能和易用性,它是高端、經濟高效的半導體生產的理想選擇。