二手 KLA / TENCOR 2139 #9230528 待售

KLA/TENCOR 2139是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於準確測量和檢查掩模和晶片元件的整個制造過程。它具有快速、無損、精確、可重復性的晶片檢測功能,以及邊緣探測和快速缺陷表征等獨特功能。該系統的核心是其先進的光學單元，可實現高達17µm的高分辨率晶片成像，面積覆蓋率高達每小時50個晶片。其獨特的雙目標CCD檢測器可確保快速、大場無破壞性成像,並具有優化的信號到噪聲性能,從大量的可用成像模式選擇,以滿足廣泛的要求。KLA 2139通過三向比較提供精確的高度測量和自動缺陷表征,使用戶能夠快速區分特定缺陷。其先進的控制軟件進一步簡化了缺陷分析,通過其雙重重建技術實現了對以不同角度拍攝的2D和3D圖像的同時比較,使用戶能夠深入了解晶圓地形的表面和地下屬性。該機還配備了獨特的離軸觀察技術，可以快速檢測用於內存設備制造的低k晶片上雙側結構和多深度圖案化薄膜的缺陷。該技術特別適合於采用離軸技術測量接觸蝕刻止動層和柵極氧化物層的特性。TENCOR 2139還包括自動或手動晶片處理選項,其配置可同時或單獨處理晶片的兩側。該工具還具有自動、精確的裝訂選項,可快速高效地隔離好的和有缺陷的晶片。總而言之,2139提供了卓越的成像和分析技術,可用於掩模和晶片檢測,並具有強大且可高度配置的封裝,同時提供了當今業界最快的一些檢測速度。其先進的成像和缺陷表征資產使用戶能夠快速準確地確定其組件中的缺陷並優化其制造過程。