二手 KLA / TENCOR 2139 #9230684 待售
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單擊可縮放
ID: 9230684
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Wafer inspection system, 8"
Open cassette
User interface
Monitor with PC
Stages:
X Stage bracket
Theta stage
Image computer:
IMC0
IMC1
IMC2
IMC3
Power supplies:
+12 VDC E-Drawer
24 VDC E-Drawer
-24 VDC E-Drawer
+48 VDC E-Drawer
+65 VDC E-Drawer
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2139設備是一種用於檢測光掩模制造上下遊晶片工藝缺陷的掩模和晶片檢測解決方案。該系統提供了成像端口、掩碼對準器、先進的光學和照明系統以及復雜的算法的組合,以檢測光掩碼上的細微但關鍵的缺陷。KLA 2139上的成像端口通過檢測光反射的差異並向用戶顯示來提供光掩碼的高分辨率成像。它有一個全畫幅的檢查，確保了整個檢查區域的完全覆蓋，可以檢測到小到0.25微米的特征。其光學和照明系統包括先進的光束偏轉、直接/可變聚焦、傾斜照明和反向散射/透射，以精確捕獲微妙的缺陷。另一方面,掩模對齊器確保掩模和晶片之間的精確對齊。TENCOR 2139具有先進的軟件平臺,為掩碼和晶圓檢查提供專門的功能。其先進的算法使得能夠自動檢查光掩碼上的缺陷，並能夠從錯誤的指示中對純缺陷進行有效的分類。該單元包括一個智能自動對焦機，自動收集每一個現場檢查的焦點位置。它還具有上下文相關命令,這些命令允許直觀操作並提高生產效率。總體而言,2139工具是檢測光掩模工藝缺陷的理想解決方案,為檢查掩模和晶片提供了經濟高效的解決方案。它結合了高分辨率成像、先進的光學和照明系統、可靠的掩模對準以及精密的算法，以確保對光掩模過程進行準確、精確和可靠的檢查。
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