二手 KLA / TENCOR 2139 #9244609 待售

KLA/TENCOR 2139是一款高端的蒙版及晶圓檢測設備。它設計用於集成電路晶片的檢測、分析和測量，使制造商能夠快速識別異常。該系統適用於先進的光刻工藝，如浸入式光刻或雙圖案。KLA 2139使用獨特的5倍光束路徑快速準確地檢查晶片的缺陷和臨界參數。它極其精確的模式識別、異常檢測和光刻掩蔽算法使得能夠在整個檢查過程中對敏感設備進行仔細檢查。該單元還提供了一系列功能,如自動缺陷分類、實時缺陷查看和過程邊緣映射。該機包括了亮場和暗場等先進照明技術，以及反向散射成像和近紫外線成像等各種成像模式。這些技術有助於揭示傳統檢查往往看不到的特征和細節。高級照明、成像模式和模式識別功能的結合產生了快速、易於解釋的結果和更明智的決策。TENCOR 2139還可以執行對齊、叠加和叠加偏差測量,這對於光刻過程中的精確定位至關重要。這樣可以確保所施加的抗蝕劑的厚度和整個晶片的分辨率一致。它還有助於減少代價高昂的蒙版修改和返工。該工具配備了專有的自動聚焦技術，通過每次拍攝前自動聚焦晶片來減少成像時間。其剛性花崗巖結構和隔振資產即使在高密度生產環境中也能控制尺寸公差。2139憑借其易用性、先進的功能和靈活性，是先進光刻和微電子生產的理想工具。