二手 KLA / TENCOR 219 SWD #293635821 待售
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KLA/TENCOR 219 SWD是為半導體制造質量保證而設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。這種多傳感器系統能夠檢測納米級的缺陷和處理300 mm以下的晶圓尺寸。KLA 219 SWD專為內聯應用而設計，配備四個亮場和三個暗場光學器件。這使得它能夠檢測具有最佳靈敏度和每小時50晶圓吞吐量的圖樣矽層上的亞5納米缺陷。高級專有的Video Flex算法可確保更全面、更準確的檢查結果。該單元采用先進的成像和計量工具，如KLA圖像導航機（INKs）來實現最高質量的缺陷檢測、邊緣放置精度測量以及先進的掩模檢測。它還配備了先進的分割方法，使其能夠區分真實缺陷和錯誤警報。此外,晶圓檢查參數可以通過公司的全球遠程工具（GRS）進行遠程實時調整。TENCOR 219SWD具有觸摸屏用戶界面,使操作員能夠輕松地在系統之間切換、調整檢查參數和查看測量數據。用戶界面還提供了對高級自動缺陷審查（ADR）和高級成像選項的一鍵訪問,以及自動邊緣放置精度測量和客戶定義的算法以進行自定義檢查。219SWD提供各種專門的智能檢測技術，如表面缺陷檢測、掩模和晶片檢測、應力測量和模模檢測。它在建造時考慮到安全和清潔，適合200、300和450mm晶圓尺寸。歸根結底,KLA/TENCOR 219SWD是技術先進、可靠的檢測資產,在檢測納米級缺陷時提供一流的準確性、可重復性和效率。其廣泛的功能、自動化功能和用戶友好的UI使其成為半導體行業質量保證的理想選擇。
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