二手 KLA / TENCOR 2350 #9136721 待售
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已售出
ID: 9136721
High resolution imaging inspection system, 8"-12"
Dual FIMS EFEM, 8"
GEM SECS and HSMS
Signal light tower
XENON Lamp: 150 W
Wave length illumination: 370 ~ 720 nm
Wave length band: Visible, UV, i-line
Pixel size: 160 ~ 250 nm
MM2S Board
User Interface (Ul):
Computer monitor
Wafer display
Industrial PC (IPC)
Image computer (IMCs)
Inspection Station (IS):
Granite suspension
Optics plate
Air filter
Stage cooling
Wafer handler (EFEM)
Dual open, 8"-12"
Dual SMIF, 8"
Dual FIMS, 8"-12"
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
Keyboard, mouse and joystick
Solenoid board with valve and AF LED board
Y1 Flex board
(2) FVPA Boards
Robot controller
Fan Filter Unit (FFU)
Ul and IS Cable
RGB Cable
RS232 Cable
Joystick cable
EMO Cable
(4) IMACS TO UI Cables
(2) AZP FFA Cables
MIB Cable
Digital camera cable
2001 vintage.
KLA/TENCOR 2350掩模和晶圓檢測設備是一個高性能檢測平臺，提供準確、可重復、自動化的多層介電和計量測量。該系統利用針對光刻市場特定需求開發的專用光學器件，包括二極管、OCT和線性可變衍射光柵（LVDP）。KLA 2350能夠測量光柵和晶片上電介質的反射率和散射。它具有355納米至730納米的可調波長範圍，適合在廣泛的材料和應用中進行檢測。它具有很高的動態範圍和出色的靈敏度，能夠提供分辨率低至0.4 µm的圖像。檢測單元還包括晶圓部分缺陷分析、標線拉透分析、介電剖面測量等幾種專門的編程算法。它與強大的圖像處理和數據分析功能集成在一起，包括Mura檢測、自動對齊和圖像縫合。這臺機器包括一個直觀的圖形用戶界面，允許用戶輕松訪問、配置和控制儀器。它還提供與外部數據庫的連接,使用戶可以輕松地將流程數據鏈接到質量控制程序。TENCOR 2350旨在提供一致的結果，減少變異性，減少檢測高級光掩模和晶圓工藝缺陷的時間。利用先進的圖像處理功能,該工具能夠快速實時檢測和分析缺陷。此外，它的綜合計量和自動化分析軟件能夠在一個步驟中實現精確、可重復的介電表征。總體而言,2350檢查資產是半導體行業可靠性和性能控制的高效、經濟高效的解決方案。其先進的技術，如激光衍射、OCT和二極管，提供了無與倫比的精度和重復性。憑借其集成的軟件和直觀的用戶界面，它是市場上最高效可靠的系統之一。
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