二手 KLA / TENCOR 2350 #9184410 待售

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KLA / TENCOR 2350
已售出
ID: 9184410
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Imaging inspection system, 8" Type: SMIF Robot: Dual SMIF EFEM, 8" GEM SECS and HSMS Signal light tower XENON Lamp: 150 W Wave length illumination: 370 ~ 720 nm Wave length band: Visible, UV, I-line Pixel size: 160 ~ 250 nm Stage: X, Y, Theta (48) IMC Boards MM2M and MM2S Missing parts: UI Main power cable SOC Solenoid 2001 vintage.
KLA/TENCOR 2350是專為半導體工業設計的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統專門設計用於檢查可能影響芯片或晶片性能的汙染物、缺陷和其他缺陷。該單元采用先進的光學和數字成像技術相結合,檢查掩模或晶片的正面和背面,使其成為最全面的檢驗系統之一。KLA 2350利用四個攝像頭實現精確的3-D成像和精確的缺陷定位。機器使用四波長照明--三個亮場,一個暗場--用於各種檢查模式,允許精確檢測顆粒、劃痕、裂縫、凹坑和其他不規則形成的顆粒等缺陷。該工具的高端光學器件也使其非常適合於對濕粒子的精確檢測。TENCOR 2350具有廣泛的功能,以確保方便和精確的檢查。這些功能包括蒙版和晶片的自動加載和卸載、高級模式失真檢測、多個照明級別以及輕型控制資產。該模型還包括用於缺陷分析和報告的高級軟件,使用戶能夠快速識別和排除任何問題。2350還提供了防止正在處理的汙染物(如顆粒物和液體汙染物)的保護。其內置的避免汙染設備屏蔽了任何來自檢查區域的進入粒子,甚至可以檢測到已經進入系統的粒子。這樣可以確保晶片和樣品材料的安全。總體而言,KLA/TENCOR 2350是一個高度先進、靈活的掩模和晶圓檢測單元。其優越的光學、數字成像系統和先進的軟件使其成為精確定位和解決汙染和缺陷的理想之選。機器的詳細實時報告和高級成像工具使用戶能夠達到最高水平的產品質量。
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