二手 KLA / TENCOR 2350 #9250244 待售

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KLA / TENCOR 2350
已售出
ID: 9250244
晶圓大小: 8"-12"
High-resolution imaging inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2350掩模和晶片檢測設備是一種強大的表面檢測工具,用於測量掩模和晶片上的復雜形狀和特征尺寸。該系統出色的3D測量分辨率和圖像處理能力使其成為檢查高度復雜的集成電路(IC)結構(如MEMS和3D設備)的理想選擇。KLA 2350設計用於精確檢測各種特征和結構,如微觀圖案、空隙、接觸孔、下切/過切幾何形狀、跳過、橋接和粒子。它可以測量各種模式,包括線寬低至25 nm、倒圓角低至70 nm、正方形低至80 nm和矩形低至100 nm。該單元可以提供正方形和非正方形層以及單個晶圓中提供的多層的精確表面分析。TENCOR 2350機配備有128個獨立通道的高分辨率5µm隨機存取掃描頭。每個通道都可以跟蹤單個傾斜和塌陷,從而確保準確和可重復的測量結果。它配備了一個最先進的圖像處理軟件套件,專門用於檢查掩模和晶圓表面的關鍵結構。直觀的用戶界面可幫助用戶快速入門,輕松配置和執行檢查設置。2350提供了一個高速檢查工具,可以在一個通道內檢查範圍廣泛的表面,其經過現場驗證的架構產生可靠和可重復的結果。機器由先進的計算機算法提供動力,使它能夠快速檢測到最微小的缺陷。總體而言,KLA/TENCOR 2350掩模和晶圓檢驗資產是一種可靠而強大的工具,旨在提供精確、可重復的表面檢驗結果。它能夠識別最微小的缺陷,使其成為各種掩模和晶圓檢查應用的理想選擇。
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