二手 KLA / TENCOR 2350 #9254021 待售

KLA/TENCOR 2350是一種針對半導體制造最苛刻的要求而設計的掩模和晶圓檢測設備。憑借先進的光學系統、卓越的成像性能、集成的粒子檢測，KLA 2350為缺陷檢測和計量提供了全面的解決方案。TENCOR 2350利用高速、高解析度的影像照相機來捕捉掩模或晶圓的亮場影像。然後實時分析這些詳細圖像的缺陷,包括模式變化、線寬和其他不一致。該單元還包含了一個復雜的粒子檢測機器，使它能夠檢測即使是最復雜的表面上的粒子。2350具有先進的光學工具,能夠提供高數值孔徑和高放大倍率。這種特性組合非常適合進行掩模和晶圓特性檢查。此外,照明資產還包括正面和背光配置,可實現幾何特征、表面汙染物和缺陷的最佳可視化。KLA/TENCOR 2350采用高度敏感的數字信號處理模式。該設備利用算法進行缺陷分類，並產生高度精確的缺陷測量。該系統還以閉環方式工作，允許連續缺陷監測，提高整體檢測精度。KLA 2350能夠測量多種特性，包括線寬、側壁角和其他與圖樣相關的缺陷。該單元還可用於檢測外來粒子和材料，以及計算叠加精度。高級報告功能還允許用戶存儲數據以便於檢索、生成實時報告以及與其他工具通信結果。總體而言，TENCOR 2350是一款強大可靠的掩模和晶圓檢測機，旨在滿足半導體制造最具挑戰性的要求。憑借其先進的光學、卓越的成像能力、數字信號處理工具以及集成的粒子檢測，2350為缺陷檢測和計量提供了全面的解決方案。