二手 KLA / TENCOR 2350 #9314038 待售

KLA/TENCOR 2350面膜晶片檢測設備是一種用於先進的圖樣晶片缺陷檢測應用的計量平臺。它將光學顯微鏡、電子顯微鏡、光譜工具等先進的計量工具與最新的高分辨率成像功能、用於成像優化的高級算法以及用於自動缺陷識別的精密軟件模塊相結合。KLA 2350擁有廣闊的視野,為用戶提供詳細的3D特征和特征提取所需的分辨率。系統還包括高靈敏度、低噪聲的CMOS成像相機；覆蓋整個視野的高功率激光照明器；以及先進的圖案化晶圓成像模式識別和圖像處理算法。TENCOR 2350提供了成像、計量和分析功能的獨特組合，允許用戶以最大的速度和準確度查看、檢查和測量微尺度特征和模式。它提供雙束實時光學顯微鏡，以及掃描電子顯微鏡（SEM）的概述和高分辨率成像。通過其先進的計量能力，該單元可以對單層和多層的臨界尺寸、線寬和高度進行極其精確的測量。2350還附帶自動化缺陷分類、自動缺陷報告、掩碼檢查等多種高級軟件模塊。這些模塊使機器能夠以最高的精度快速識別和通過/失敗各種產量關鍵特性。該工具還可以幫助確定缺陷的優先級,以便進一步分析。KLA/TENCOR 2350是任何晶圓制造設施的強大資產。利用它的綜合功能，該資產可以通過簡化缺陷檢測和表征來節省時間和金錢。它意味著工程師可以快速準確地發現小缺陷，使他們能夠制定經濟高效的糾正措施，確保產品的高質量。