二手 KLA / TENCOR 2351-UI #9275961 待售

ID: 9275961
優質的: 2003
Wafer defect inspection system 2003 vintage.
KLA/TENCOR 2351-UI是一種用於在線集成到半導體制造過程中以及用於離線系統增強的掩模和晶圓檢測設備。該單元提供成像和模具水平的全晶片和基板檢查。它使用戶能夠對作業車間和晶片車間的多層掩模和晶片進行關鍵缺陷檢查,以進行關鍵缺陷檢查、缺陷檢測、過程更改監控以及過程控制和優化。KLA 2351-UI配備了高質量的成像機,由先進的電荷耦合器件(CCD)和5軸晶圓級供電。該成像工具提供令人印象深刻的0.1微米分辨率和準確性。資產還包括各種自動化和手動功能,包括:先進的模式匹配能力、根據大小和形狀隔離缺陷、使用高級算法準確分類缺陷、自動缺陷修復和自動識別缺陷。模型的5軸級包括用戶定義的基於軟件的可編程運動輪廓,以及晶圓運動的實時控制。這有助於確保晶片能夠在高速下精確、精確地掃描,移動時間非常短。TENCOR 2351-UI旨在提供易於使用的操作,它具有直觀的圖形用戶界面,允許用戶快速設置、配置和監視設備的操作。系統的內置報告功能使用戶能夠生成缺陷信息和實時數據的圖形報告。2351-UI單元旨在為半導體制造的每個階段提供質量保證。它具有簡單的操作、強大的性能和準確的缺陷檢測功能,設計緊湊。這臺機器非常適合半導體生產和支持生產線生產過程。
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