二手 KLA / TENCOR 2351 #293606934 待售

KLA/TENCOR 2351是一種領先的晶圓和掩模檢測設備,旨在提供高分辨率的模具結構、層的表面和輪廓測量以及任何制造缺陷的信息。這套高度先進的系統配備了一系列數字成像、自動化分析以及先進的晶圓表面和掩模檢測技術。KLA 2351單元能夠快速、準確地檢查特征尺寸和材料，有助於缺陷保證和持續的工藝改進。TENCOR 2351配備了Macro Die Inspection machine，它能夠以全場分辨率在3英寸晶片上檢測多達2000個模具。利用2351先進的成像技術,可以獲得高達8 MP的圖像。KLA/TENCOR 2351還能夠搜索側壁粗糙度、先前工藝活動造成的缺陷、切塊損壞或不希望的圖案等缺陷。KLA 2351的高級掩模檢查工具允許對具有高性能成像和掃描的掩模進行檢查。用於掩模檢查的光學器件設計用於高分辨率成像,如背面圖像和CD測量。2351 mask資產能夠以極高的精確度和精確度讀取高達2 µm特征的蒙版圖像。此外，使用它們的CD-SEM成像模型可以用亞µm精度監測CD不匹配和CD均勻性等基板缺陷。TENCOR 2351還配備了先進的Automated Defect Analysis設備，可以自動識別微鏡缺陷，並報告檢測到的任何缺陷的性質。當今先進的半導體器件需要更高分辨率的半導體制造工藝，2351配備了最先進的軟件，可以監測、測量和分類粒子、礦坑、礦坑和其他關鍵表面缺陷。此外,KLA/TENCOR 2351提供了一整套數據分析和報告功能,使流程工程師能夠輕松地在自動化缺陷分析、設備管理和流程控制之間移動。綜上所述，KLA 2351是一種真正先進、功能豐富的晶片和掩模檢測系統。TENCOR 2351提供高分辨率成像、自動化缺陷分析以及先進的晶圓表面和掩模檢測能力，有助於過程控制和缺陷保證。此外，2351利用其自動分析單元，可以輕松準確地檢測微觀缺陷，為工藝工程師提供最佳的保證和控制。