二手 KLA / TENCOR 2351 #9136720 待售
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已售出
ID: 9136720
High resolution imaging inspection system, 8"-12"
Dual FIMS EFEM, 12"
GEM SECS and HSMS
Signal light tower
XENON Lamp, 150 W
Wave length of illumination: 370 ~ 720 nm
Wave length band: Visible, UV and i-line
Pixel size: 160 ~ 250 nm
User Interface (Ul)
Computer monitor
Wafer display
Industrial PC (IPC)
Image computer (IMCs)
Inspection station:
Granite suspension power
Stage cooling: Blower
Optics plate pneumatics
Air filter
Wafer handler (EFEM)
Dual open, 8"-12"
Dual SMIF, 8"
Dual FIMS, 8"-12"
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
Keyboard, mouse and joystick
Solenoid board
LP2 Cover and robot controller
Ul and IS Cable
RGB Cable
RS232 Cable
Joystick cable
EMO Cable
(4) IMACS TO UI Cables
(2) AZP FFA Cables
MIB Cable
Digital camera cable
2001 vintage.
KLA/TENCOR 2350是為半導體工業設計的掩模和晶圓檢測設備。它是一種高性能、經濟高效的工具，用於收集半導體晶片和掩模的詳細圖像和測量。KLA 2350具有以亞微米分辨率快速獲取和分析數據的能力，允許快速準確的晶圓檢測、缺陷檢測和質量控制。TENCOR 2350具有先進的光學設計,與類似的光柵掩模相比,可實現更高的分辨率成像和更高的信噪比。它還利用高精度、基於等離子體的MOEMS（微機電）掃描階段對晶片和掩模進行快速和可重復的掃描。2350具有較大的視野（12 「x 12」）,沒有失真,允許對平面和圓形結構執行廣泛的檢查任務。KLA/TENCOR 2350配備了高性能的1.3萬像素傳感器,可快速準確地獲取數據。傳感器可以配置一系列不同的模式,包括亮場、暗場和縫合圖像。它還配備了全套缺陷審查、分類和比較工具，以及多種其他圖像處理功能。對於先進的掩模檢查應用，KLA 2350具有內置的高分辨率解調系統，可以提供比常規系統更高的精度。解調單元可以實時執行邊緣檢測、缺陷隔離和缺陷識別任務。此外,TENCOR 2350還包括一個集成的主機軟件體系結構,它允許與其他儀器輕松集成以提高性能。2350適用於需要重復、可靠的檢查、測量和分析的具有挑戰性的應用。它的設計高度可配置,以滿足從研究科學家到大批量生產線等眾多客戶的特定需求。該機器既可用於實驗室,也可用於生產環境,為改進質量控制和減少過程缺陷提供了有效的解決方案。
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